無塵室各項目檢測方法匯總

高校過濾器檢漏

一、說明
高效過濾器的泄漏測試應當是無塵室測試中，最複雜、最耗時間的測量項目。泄漏測試的目的，是要確認：

1.濾網的材料無破損.

2.安裝恰當。濾網出廠前當然要經過泄漏測試，但是在搬運與安裝過程難保完全無損，而且濾網的重要性又大於一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當，微粒會從邊框漏進無塵室風口。就算是FFU係統，天花板上是負壓，若是邊框機有微粒日後仍舊會產生問題。因此，邊框掃描一樣重要。 濾網泄漏測試基本上是利用濾網上遊的顆粒，然後在濾網下表麵與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。

測試方式有：1.氣膠光度計測試法，2.微粒計數器測試法，3.全效率測試法，4.外氣測試法。後兩種現在使用非常少。

二、方法
1111.氣溶膠光度計測試法
111氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（Aerosol Photometer）是微粒計數器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之後，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數目。DOP是一種油性化學物質，現改用PAO,加壓或加熱霧化之後，可以產生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。
1112.微粒計數器測試法
111半導體業方麵，早期也是使用DOP/PAO與氣膠光度計，但是隨著製造精密度增加，油性挑戰微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現使用幹式灰塵當成挑戰微粒，在上遊施放，然後用微粒計數器在下遊掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經過科學家一步步研究結果，發現PSL因為微粒的粒徑與濃度可以控製，因此是目前最廣為使用的標準微粒。使用時隻要把PSL溶液霧化，導入濾網上遊即可

PAO/DOP過濾器檢漏

一.說明
 1氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（Aerosol Photometer）是微粒計數器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之後，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數目。DOP是一種油性化學物質，加壓或加熱霧化之後，可以產生次微米等級的微粒，可用來仿真無塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。
 1泄漏的定義是泄漏出上遊濃度萬分之一，由於氣膠光度計可以直接顯示上下遊微粒濃度的比值，因此掃描濾網非常方便。也正因其準確、可靠，美國食品與藥品管製局（FDA）規定，在其管轄範圍內（食品加工場所與醫療製藥場所），所有的濾網泄漏測試必須使用DOP與氣膠光度計。近年來由於人們懷疑DOP會導致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類似，使用上無多大差異。

二.測試儀器
 1本測試法使用儀器為氣膠光度計（Aerosol Photometer）與微粒產生器（Aerosol Generator）。氣膠光度計的顯示版有模擬與數字兩種，每年必須校正一次。微粒產生器有兩種，一種是普通的微粒產生器，隻要求高壓空氣，另一種是加熱型微粒產生器，要高壓空氣和電源，微粒產生器不需要校正。 

三.測試方式 
1111濾網泄漏測試的步驟，大致上是施放微粒並檢查濃度、濾網與邊框掃描以發現泄漏、更換或修補、重測，其步驟說明如下
1111.在圖麵上記錄濾網數量並編號。
1112.確定空調係統正常運轉並可供測試，風速與風量必需調整平衡完畢。
1113.使用氣膠產生器在上遊施放挑戰微粒，將PAO打入濾網上遊，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄漏，但是超過50微克以後差別不大，少於10則很難使用。微粒濃度可用風量粗略計算，再用氣膠光度計確認。
1114.上遊微粒濃度確認後，就可以在濾網表麵掃描，尋找泄漏，必要時濾網四周可用塑料簾覆蓋以確保測試之準確
1115.在濾網表麵掃描，掃描之路徑可由外而內或沿長/短邊迂回檢測.

潔淨度測試

一、說明
1111潔淨度測試是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都隻在確認無塵室的潔淨度不受外來影響，因此潔淨度測試都放在前述幾項測試都通過之後。潔淨度測試完畢，與落塵有關的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔淨度影響不大，或是屬於其它環境測試。

二、測試儀器
1111潔淨度測試使用微粒計數器，儀器須經校正合格且仍在有效期限內，交附報告時須附合格之校正文件。微粒計數器有不同規格，最常見的是流量1cfm，最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英?。至於應使用何種設備，要依業主的規範而定。一般在產業界，多依以下方式選擇微粒計數器。
1111Class 1000或更高：0.5μm  
  11Class 100：0.3μm，0.5um
  11Class 1到Class 10：0.1μm
若是業主要求的粒徑範圍超過單一微粒計數器的範圍，則應該使用兩部微粒計數器。目前市麵上少見立方公尺的微粒計數器，因此若是無塵室的潔淨度是以ISO為基準，則要把結果作換算。單位換算，不影響上限的計算程序。 

三、測試步驟： 
1111(1)確定空調係統之測試調整與平衡已完成，濾網之風速及泄漏測試均已完成，並已修換破損部分。
1111(2)確認測試位置與測試點數。
1111(3)取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，若取樣時間小於一分鍾，則以一分鍾為準。
111(4)測試位置應均勻分布在無塵室內，避免在產生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當之架台支撐，不可以手持支撐。
111(5)測量點數以公式計算（與209E相同）。

四、驗收標準：
1111潔淨度的驗收基準有二，首先是每點的微粒測量平均值必須低於規定值。潔淨度的第二個驗收基準就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小於規定值。  

風速及平衡性測試

一、測試目的
1111氣流是控製潔淨度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速測量，都是放在無塵室測試的第一步。風速測量的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設計規範，其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現場的限製，室內換氣量還必須用風速乘以出口麵積來換算。
1111單一流向型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，隻有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒汙染。非單一流向型無塵室，由於微粒控製的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要。但是需注明是濾網風速測量或是無塵室室內風速測量。

二、 使用儀器
1111無塵室裏麵使用的HEPA/ULPA濾網，其送出氣流的速度多半都控製在0.5m/s以內，因此所使用的風速計必須是低速型。濾網風速測量可使用單點式風速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線式風速計。也可以使用多點式風速計如Shortridge Velgrid 16點風速計。輪葉式風速計因使用範圍不同，通常不在無塵室內使用。熱線式風速計（Hot Wire）雖然高頻響應良好，但是低速時 〈0.5m/s以下〉 準確性很低，因此不很適用，一般熱反應風速計常用的是Thermeister式風速計。轉輪式風速計由於本身重量問題，也不適用低速。檢驗儀器須經校正合格，且仍在有效期限內。

三、 測試步驟
111(1)在圖麵上記錄濾網尺寸、數量並編號。(2)取樣點位於濾網下方75-150mm處。(3)每一個濾網下，若是使用單點式風速計，則每1平方英尺取一點；若是使用多點式風速計，則每4平方英尺取一點。(4)每測量點必須取5秒的平均。(5)依驗收標準分析所有風速，計算平均值、標準差、相對標準差，並標明不合格測試點。(6)記錄所有原始數值，以及分析後的數值。重要的是在非單一流向型無塵室測試時，特別注意取樣時風速計不可受到幹擾，以免影響準確度。

四、數據分析
1111風速測量很簡單，但是均勻度必須由數據分析來判定。均勻度是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。
11111.平均值：2.標準差  

風量及平衡性測試

一、說明
1111風量測量的目的通常是用來計算換氣量，一般是在非單一流向型無塵室，或是測量空調係統中各式各樣的出風口、回風口、排氣口等的風量時使用。隻有在無法使用氣罩的場合（氣罩體積較大，有時會受限製），才能使用風速乘以麵積等於風量的方式，用風速來換算風量。使用風速換算風量時，須注意出風口之有效麵積以及修正係數的取得。在回風口和排氣口，使用換算法的準確度非常差，應盡量避免。同樣氣罩通常可以測量送風與回風，正值代表送風，負值代表回風或排氣。須注意的是反向測量時，其測量範圍通常會降低。 

二、測試儀器
1111風量測量應當使用氣罩（Flow Measuring Hood），氣罩的測量範圍是15~2500 cfm，精確度要求為讀數的±3%。由於氣罩本身會產生壓損，因此其形狀很重要，應盡量使用原廠氣罩。若有必要自行製造罩子，應注意氣流順暢並且做詳細比對。氣罩的校正非常重要，必須主機連同罩子一起校正，才能得到準確校正值。檢驗時必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，於正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。

三、測試步驟：
  11(1)在圖麵上記錄濾網尺寸、數量並編號。(2)使用恰當尺寸氣罩將出風口完全罩住，然後測量與計錄。(3)依驗收標準分析所有風量，計算平均值、標準差、相對標準差，並標明不合格測試點。(4)記錄所有原始數值，以及分析後的數值。 

四、 數據分析：
1111風量均勻度的計算與風速向同，都是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。 
1111.平均值：將所有風測量量值取算數平均   2.標準差：計算所有風測量量值的標準差

壓差測試

一、說明
1111壓力測量的目的是確認無塵室空調係統的壓力設定。無塵室內維持相當的正壓以維持潔淨度，這已經是個common sense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是後來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25 Pascal之間。壓力測量的時機，應該是在風速、風量、平行度等與氣流直接相關的測試結束之後立即測量，尤其不可在潔淨度測量完畢之後才測量壓力。因為如果壓力不對，要立刻調整以免影響潔淨度。測量時，所有門窗都必須關上，所有的風扇也必須維持正常運轉。

二、測試儀器
111壓力測量可使用傾斜管壓力計，指針式壓力計，或是電子式壓力計，總之隻要測量範圍與精確度滿足要求即可。壓力計之精確度要求為讀數的±5%，測量範圍式壓力設計值而定，一般0~5mm Aq（0?50 Pascal）即可涵蓋室內外壓力差之測量。儀器需經校正合格且仍在有效期限內之才可以使用，檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。 

三、測試步驟
1111.必須在風速、風量、氣流等測試完成後，才能測試壓力，並且排氣與MAU要完全正常運轉。
1112.全部門與開口都要關閉。室外大氣壓力假設為0.0mmAq表壓力。
1113.測定潔淨區域與相鄰較次級潔淨區域之壓差，再測量房間與Gowning room之間壓差，最後測量Gowning room與外部之壓差。
1114.建議壓差值為5~12Pa，並無強製規定。
1115.記錄所有數值。  

溫濕度檢測

一、說明
111溫濕度測量的目的是確認室內之溫濕度控製在範圍之內，溫濕度對微粒控製沒有甚麽影響，因此溫濕度測試屬於第三級測試（Level 3）。但是因無塵室多半同時也是環控室，所以溫濕度常常就一並測量了。溫濕度測量又分為一般測量和進階測量（General Tests and Comprehensive Tests），一般測量隻是測量溫濕度在測量點的實時數據（單一測數據），適用在對溫濕度要求不高的場所。進階測量就要紀錄在測量點一段長時間的溫濕度，目的是要觀察溫濕度隨時間的變化情形，以確認濕度在控製之下。進階測量適用在對溫濕度要求比較高的場所。

二、測試儀器：
111常見的溫濕度儀器是電子式溫度計與鏡麵冷凝光學式濕度計，一般測量和進階測量使用儀器的精度相同，溫度測量範圍是0-100 ℃，精確是±0.2 ℃。濕度測量範圍是10? 到95? ，精確度是±2? 。一般測量要求溫度之顯示值可顯示0.1 ℃的變化，濕度的顯示值可顯示1? 的變化。進階測量則要求溫度之顯示值可顯示0.05 ℃的變化，濕的顯示值可顯示0.1? 的變化。檢測儀器需校正合格且仍在有效期限內者，於測試前或交附報告時均須檢附合格之校正文件。

三、測試程序：
1111.確認空調係統已經安裝完成，並已完成測試、調整、平衡。空調係統測試、調整、平衡可以平衡風量和水量，使其達到設計要求，為溫濕控製提供正確的運轉環境，因此係統要先平衡才能測試。
1112.依據平麵圖，列出各種溫濕度要求區域，並使係統達到正常運轉狀況，係統應在溫濕度自動控製之下，至少運轉24小時以上。
1113.測試點數為每個房間至少量一點，並且每個溫濕度控製區至少量一點，例如每個Dry Coil的控製範圍要量一點，測量高度為(高架)地板上1.00m。
1114.將溫濕度傳感器放置同一位置，待穩定後開始記錄。

光照度測試

一、測前準備
潔淨室所有開孔皆需封閉氣密處理完成
測試前空調係統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉24小時以上。
潔淨室環境需清潔完成

二、測試目的
此檢測動作在於確認無塵室照明係統是否有達到設計要求。

三、測試儀器
專業照度儀

四、測試步驟
無塵室光源至少使用100小時以上，測試前需點亮2小時以上。
確認測試點及配置圖編號。
將照度儀固定置於距離地板上1.2m高度，待數值穩定後量測10秒記錄。  

噪音度測試

一、檢測準備
竣工圖麵（初版）與相關規範確認
所有開孔皆需封閉氣密處理完成。
測試前空調係統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉24小時以上。
潔淨室環境需清潔完成。

二、測試目的
此檢測動作在於確認無塵室噪音是否有達到設計要求。

三、測試儀器
專業噪音儀

四、測試位置
每40m2取1點為量測點，另針對業主要求局部增加測試點數。

五、測試步驟：
a.無塵室所有空調設備及公用設備均為運轉狀態。
b.確認測試點及配置圖編號。
c.將照度儀固定置於距離地板上1.2m高度，高度量測10秒後記錄最大值。

氣流流向檢測

一、測試目的
平行度測量的目的，是觀察在工作區域裏麵氣流的運動模式，同時也可以觀察儀器設備對氣流的影響。平行度測量應該在氣流的風速與均勻度都測試完畢且通過之後進行，過早進行可能得不到正確的數據。

二、測試方法
一般而言平行度的測量，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質棉線。。煙霧或水霧的共同優點是隻要粒子夠小，煙霧可隨風飄揚，可正確的反映氣流運動模式。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時間太短。測量平行度需要花一些時間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成汙染。另一種方式是使用輕質細線，讓細線隨風飄舞，然後測量氣流平行度。在無塵室內普遍使用新的高分子材料Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所製成，由於質量很輕因此適合作無塵室平行度測量。測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然後在濾網下方施放煙霧或是安放細線，之後觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是測量細線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。

三、測試儀器
支架2.鉛垂線3.Flo-Viz細線4 .氣流流向檢測儀

四、測試步驟
用支架設立垂線作為基準線。2.將細線在室內懸吊，使其自然下垂，細線會隨空氣流向飄移。計算偏移角=tan-1(懸吊線?移量/1220)。6.每3m×3m區域量1點。若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網下施放煙霧，然後將鉛垂線的上端點移動到與煙霧相接觸，將紅線當成煙霧，再計算夾角就可以了。  

地板導電檢測

一、測試介紹
導電度可視為電流流經或繞過某物體之容易程度(relative ease)，電阻的倒數即導電度

二.、測量目的
測量地板上點與點之間(Floor Point to Point)的電阻，和地板與大地間(Floor to Ground)的電 阻

三、Point to Point檢測過程
溫濕度需已經測試調整合格
每組數據需使用兩個電極
電阻計之開路電壓為500奧姆，內阻至少100000奧姆
每個無塵室至少量5組數據，取平均值

四、Floor to Ground 檢測過程
1.這是測量無塵室地板與接地電極間，導電性的強度。
2.溫濕度需已經測試調整合格
3.電阻計兩端的電極，一個接在地板上，另一個連在最接近的建築物柱子上
4.測量位置由Owner指定，應有20個位置4.5
5.每位置取不同的5點測量，再取平均值5.平均之電阻應小於一百萬歐姆
6.所有的原始數據與平均值都需表列於報告中 

自淨能力檢測

一、測試目的
確認在無塵室釋放顆粒後，測量在多少時間內能恢複到釋放之前的潔淨水平。

二、測試儀器
顆粒測試儀（品牌MET ONE），型號：3313、2100、顆粒釋放器。

三、測試位置
任意抽取測量點，也可與相關人員共同確認測試點。

四、測試步驟
1 .在測試開始之前要保證淨房空調係統正常運轉24以上，讓潔淨環境達到一個穩定的水平。
2.在抽取的測量點放好顆粒計數器，先做顆粒潔淨度測試，記錄該房間每立方英尺體積的空氣中含有的0.3um顆粒數量，連續測試數分鍾，待取一個穩定的數據，此時，再將該房間的整個空調係統全部斷電。
3.在該房間內釋放顆粒，使於外界非潔淨區域的顆粒自使整個潔淨室0.3um的顆粒濃度達到之前濃度的10或100倍。此時再啟動空調係統，使其正常運行，測試該潔淨室內顆粒濃度恢複到之前水平所需要的時間 

靜電檢測

一、測試目的
靜電問題不是隻有半導體業才有，其它行業也有類似問題。微小物質上若是含有靜電，就會變成非常難處理的問題，因為傳輸變的很不容易。另外在裏麵，若是物體表麵帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成汙染。靜電測試的目地是測量空氣中正離子與負離子的含量，依此數據可仿真物體在該氣流場中之殘餘表麵電壓。

二、 測試程序
1.於無塵室內離地32英?(813 mm)處，測量該位置之空氣中正離子與負離子的含量，單位是每立方厘米離子數。測量點數：10個，或由業主自己決定。
2.在同一位置做殘餘電壓測試。