電子行業,特別迅速發展的亞微米工藝對生產場所空氣潔淨度要求特別高,在對潔淨度的提出更高要求
方麵,電子工業是促進前進動力。集成電路光刻工藝的尺寸是推動潔淨室要求向前發展的決定因素,技術
越進步,尺寸就越小,如果落在集成電路上的粒子大於***小尺寸的1%--2%,就會使集成電路成為廢品,金
屬粒子、離子、細菌都是生產廢品的元凶。空氣潔淨度的好壞直接影響電路生產的成品率。同時,對微電
子產品的功能要求越高,投資規模越來越大,就對質量水平的要求越來越嚴格,電子工業成為世界上越來
越大的工業部門,預計再近年,電子激光最小的光刻尺寸可達到0.5微米。微電路存儲量可達64千兆,世
界上大部分在建的潔淨室都用於微電子工業,每年建造和使用費用可達百萬美元。