規定無塵室潔淨區的控製指標和檢測方法,有效的控製十萬級和三十萬級潔淨區環境的潔淨度,滿足生產環境的要求。
2 範圍
本規程適用本公司十萬級和三十萬級潔淨區環境的潔淨度檢驗。
3 檢驗方法
3.1 檢驗項目
溫度、濕度、壓差、風速(換氣次數)、塵埃粒子數、菌落數
3.2 溫度、濕度
3.2.1 要求
十萬級/三十萬級潔淨區溫度(18-26)℃,相對濕度(45-65)%
3.2.2 儀器與設備
溫濕度計
3.2.3 操作方法
目測溫濕度計。
3.2.4 測定頻次
1次/班。
3.3 靜壓差
3.3.1 要求
潔淨室與室外壓差≥10Pa,潔淨室與非潔淨室≥5Pa不同級別潔淨室之間≥5Pa。
3.3.2 儀器與設備:補償式微壓計
3.3.3 操作方法
用補償式微壓計測試各室的靜壓力,由兩室靜壓力之差,為靜壓差。
3.3.4 測定頻次:1次/月
3.4 換氣次數
3.4.1 要求
十萬級潔淨區換氣次數>15次
三十萬級潔淨區換氣次數>12次
3.4.2 儀器與設備:熱球式電風速計。
3.4.3 操作方法距風口下25cm處測量
3.4.3.1 用風速計風速,采樣點為風口的四個頂角及中心位置(不少於5點)。計算5個點風速平均值。為一個風口的風速。
3.4.3.2 換算公式:
∑(高效風口風速×高效風口麵積)
換氣次數= ──────────────────
被測間體積
3.4.4 測定頻次:1次/月
3.5 塵埃粒子數
3.5.1 要求
十萬級潔淨區塵埃粒子數: ≥0.5μm:≤3500個/L
≥5.0μm:≤20個/L
三十萬級潔淨區塵埃粒子數:≥0.5μm:≤10500個/L
≥5.0μm:≤60個/L
3.5.2 儀器與設備:塵埃粒子計數儀
3.5.3 采樣點
根據麵積,要求最少采樣點見下表:
麵積,(m2) |
潔淨度級別 |
||
10000 |
100000 |
300000 |
|
≤10 ≥10~<20 ≥20~<40 ≥40~<100 ≥100~<200 ≥200~<400 ≥400~<1000 ≥1000~<2000 ≥2000 |
2 2 2 4 10 20 40 100 200 |
2 2 2 2 3 6 13 32 63 |
|
3.5.4 操作方法
用塵埃粒子計數儀在高度1米水平麵上的位置采樣,每層采樣點不少於5點,每個采樣點采樣次數不少於5次。采樣點見附件1。
3.5.5 換算公式
5次測量數的總和
塵埃粒子數= ─────────
5
3.5.6 測定頻次 :1次/季
3.6 菌落數
3.6.1 要求
浮遊菌 十萬級潔淨區含菌濃度≤500個/m3
沉降菌 十萬級潔淨區含菌濃度≤10個/皿
三十萬級潔淨區含菌濃度≤15個/皿
3.6.2 檢測方法
按《微生物檢驗規範》的規定進行。
3.6.5 測定頻次:浮遊菌 1次/季;沉降菌 1次/周
4 測定條件
4.1 當新潔淨區投入使用前,進行一次靜態環境監測,監測時,潔淨區內所有物品均應到位,檢測區內隻留檢測人員,檢測結果應符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格應重新對淨化係統進行檢查,查找原因,進行整改後,再進行檢測,合格後方可投入使用,否則不得進入生產。
4.2 所有在用潔淨區,按本規程的要求進行k8凯发天生赢家一触即发人生檢測,檢測結果應符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格由技術品質部告知生產部,通知超標車間停產,由生產部、技術品質部、生產車間組織人員查找原因,進行整改後,再進行檢測,合格後方可投入使用。
附件1 塵埃粒子檢測點
附件2 沉降菌檢測點
附件3 浮遊菌檢測點
原文