淨化工程之無塵車間標準

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無塵車間標準：

依據美國政府頒布的標準，可將無塵車間分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級：

1級：這個級別的無塵車間主要用於製造集成電路的微電子工業，對集成電路的精確要求為亞微米。

10級：這個級別的無塵車間主要用於帶寬小於2微米的半導體工業。

100級：很多人認為，這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間，人們常常錯誤地將100級潔淨室稱為無菌室，以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求，100級無塵室可用於醫藥工業的無菌製造工藝等，這一潔淨室大量應用於，植如體內物品的製造，外科手術，包括移植手術，集成器的製造，那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術後的隔離治療。

1000級：這個級別的無塵車間主要用於高質量光學產品的生產，還用於測試，裝配飛機蛇螺儀，裝配高質微型軸承等。

10000級：萬級無塵車間用於液壓設備或氣壓設備的裝配，某些情況下也用於食品飲料工業，此外，萬級無塵車間在醫工業中也很常用。

100000級：十萬級無塵車間用於很多的工業部門，比如光學產品的製造，用於較小的元器件製造大型的電子係統，液壓或氣壓係統的製造，食品飲料的生產，醫、藥工業也常常使用這一級無塵車間。

解釋：目前各半導體加工和麵板組裝廠的無塵室等級大都為1000級和100級的居多，級數越低潔淨度就越高，質量越好。如果無塵車間的等級隻用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5µm，例如，1級、10級、100級東莞無塵車間最大塵粒數目分別小於或等於1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5µm，無塵車間等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大於75顆/立方英?)，1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大於35顆/立方英?)。而集成電路製造所需的無塵車間之潔淨度必須優於1000級。

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