淨化工程必須對溫濕度一定有很好的掌控

淨化工程在建設之初對溫濕度的設計要優先考慮（consider)好，因為現代工藝對生產(Produce)過程當中溫濕度的要求已經越來越高，所以企業所建設的淨化工程必須對溫濕度一定有很好的掌控。
在大規模集成電路生產(Produce)的光刻曝光（exposure)工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與矽(silicon)片的熱膨脹(inflate)係數的差要求越來越小。直徑100um的矽片，溫度（temperature)上升1度，就引起了0。24um線性膨脹(inflate)，所以必須有±0。1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以後，對產品將有汙染，特別是怕鈉(Sodium)的半導體(semiconductor)車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻(cooling)水管壁上會結露，如果發生在精密(precise)裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生鏽。
然而對於大部分淨化工程，為了防止外界汙染侵入，需要保持內部的壓力(靜壓)高於外部的壓力(靜壓)。實驗台框架一般采用C型方型鋼，可靠焊接，經酸洗磷化、電泳後，實驗台表麵經環氧樹脂高壓靜電粉沫噴塗，高溫固化處理。具有良好的防腐性能，緊密強固，承重力強。實驗室家具實驗室儀器擺放的設計是一個實驗室設計中的重點和難點之一。實驗儀器的擺放看似簡單，可實際上需要考慮的因素非常多。實驗儀器是否可以良好安全地運行，是否可以妥善地得到保護，是否可以將環境對其的影響度降到最低，相互之間是否有影響，實驗人員是否可以方便地使用等等問題，都是在考慮實驗室儀器擺放位置的時候需要關注的問題。淨化工程對壓力差的維持一般應符合以下原則：
1、潔淨度級別高的空間的壓力要高於相鄰的潔淨度級別低的空間的壓力。實驗台主要有全鋼結構實驗台、鋼木結構實驗台、鋁木結構實驗台、全木結構實驗台、PP結構實驗台等種類，台台麵一般采用環氧樹脂板、實芯理化板、陶瓷板、大理石板、千思板、不鏽鋼板等，表麵經技術處理，光滑無毛孔，耐酸堿、防腐蝕，銑邊處理，台麵耐腐蝕、防水均達到實驗室行業優質標準。
2、相通潔淨室之間的門要開向潔淨度級別高的房間。
3、淨化工程昂當中潔淨空間的壓力要高於非潔淨空間的壓力。壓力差的維持依靠新風量(定義:單位時間內空氣的流通量)，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透（Osmosis))風量通過潔淨室的各種縫隙時的阻力。對於亂流潔淨室由於主要靠空氣的稀釋(dilute)作用來減輕室內汙染的程度，所以主要用換氣次數這一概念，而不直接用速度的概念，不過淨化工程對室內氣流速度也有如下要求：
1、送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減(attenuation)更快，擴散角度（angle)更大。
2、吹過水平麵的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大，以免吹起表麵微粒重返氣流，而造成淨化工程的再汙染，這一速度一般不宜大幹0。2m/s。