淨化車間控製溫濕有什麽作用?

發布日期:2019-10-20 08:06 瀏覽次數:

淨化車間為什麽要控製(control)溫濕度?主要作用是什麽,具體有什麽措施(指針對問題的解決辦法)?
淨化車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,首選應該考慮(consider)人的舒適感。隨著空氣潔淨度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產(Produce)的光刻曝光(exposure)工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與矽(silicon)片的熱膨脹(inflate)係數的差要求越來越小。直徑100 um的矽(silicon)片,溫度(temperature)上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以後,對產品將有汙染,特別是怕鈉(Sodium)的半導體(semiconductor)車間,這種車間不宜超過25度。 濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻(cooling)水管壁上會結露,如果發生在精密(precise)裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生鏽。
然而對於大部分潔淨空間,為了防止外界汙染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高於外部的壓力(靜壓)。成都實驗室裝修實驗室進行試驗的場所。實驗室是科學的搖籃,是科學研究的基地,科技發展的源泉,對科技發展起著非常重要的作用。壓力差的維持一般應符合以下原則:
1.潔淨度級別高的空間的壓力要高於相鄰的潔淨度級別低的空間的壓力。成都實驗室淨化每類生物安全防護實驗室根據所處理的微生物及其毒素的危害程度各分為四級。各級實驗室的生物安全防護要求依次為:一級最低,四級最高。
2.相通潔淨室之間的門要開向潔淨度級別高的房間。
3潔淨空間的壓力要高於非潔淨空間的壓力。成都實驗室淨化三級生物安全防護實驗室結構和設施、安全操作規程、安全設備適用於主要通過呼吸途徑使人傳染上嚴重的甚至是致死疾病的致病微生物及其毒素,通常已有預防傳染的疫苗。
壓力差的維持依靠新風量(定義:單位時間內空氣的流通量),這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透(Osmosis))風量通過潔淨室的各種縫隙時的阻力。
對於亂流潔淨室 由於主要靠空氣的稀釋(dilute)作用來減輕室內汙染的程度,所以主要用換氣次數這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求;
1.送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減(attenuation)更快,擴散角度(angle)更大。
2.吹過水平麵的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表麵微粒重返氣流,而造成再汙染,這一速度一般不宜大幹0.2m/s。
在我國,《空氣潔淨技術措施(指針對問題的解決辦法)》和<潔淨廠房設計標準))都是這樣規定的
垂直平行流(層流)潔淨室≥0.25m/s
水平平行流(層流)潔淨室≥0.35 m/s

在線谘詢
微信谘詢
聯係電話
18980800355
返回頂部
網站地圖凱發K8凱發K8凱發K8凱發K8凱發K8