潔淨室的檢測技巧

潔淨室的檢測技巧

核心提示：1。淨化工程指控製產品 (如矽芯片等) 所接觸大氣的潔淨度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、製造。此環境空間的設計施工過程即可稱為淨化工程。潔淨車間一個應用行業非常廣泛的基礎性配套產業，（21世紀）在電子信息、半導體、光電子、精密製造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴塗等眾多行業均有應用，並根據行業的精密與無塵要求，等級差別也較大。無菌車間大部分淨化廠房尤其電子工業用的潔淨廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內的溫、濕度有嚴格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動範圍也有嚴格的要求。供氣量和排氣量2.區域之間的氣流控製3.過濾器泄漏檢測4.隔離泄漏檢測5.室內氣流控製6.懸浮顆粒濃度和微生物濃度

1。送風量和排風量：如果是湍流潔淨室，則需要測量送風量和排風量。如果是單向流動的潔淨室，應測量風速。

2、區與區之間的氣流控製：為了證明區與區之間的氣流方向正確，即從潔淨區到潔淨差的地區，必須檢測：每個區間的壓力差是正確的；在門或牆的開口、地板等處，氣流方向是正確的，即從潔淨區域到潔淨較差的區域。

3.過濾器泄漏檢測：檢查高效過濾器及其外框，確保懸浮汙染物不會通過：損壞的過濾器；過濾器與外框之間的間隙；過濾器單元的其他部分進入腔室。

4.隔離泄漏檢測：該測試用於證明懸浮汙染物不會通過建築材料滲透到潔淨室。

5。室內氣流控製：氣流控製試驗的類型取決於潔淨室的氣流流型是湍流的還是單向的。如果潔淨室的氣流是湍流的，則需要確認潔淨室內沒有氣流不足。如果是單向流潔淨室，必須驗證整個房間的風速和風向符合設計要求。

6、懸浮粒子濃度和微生物濃度：如果上述測試符合要求，那麽最終測量出粒子濃度和微生物濃度，以確認它們符合潔淨室設計的技術條件。