潔淨室塵埃粒子檢測標準操作規程

⒈      目的：闡述潔淨室（區）中懸浮粒子的測試方法，用以規範員工的檢測操作。

⒉      範圍：適用於公司內部生產潔淨區塵埃粒子檢測工作

⒊      責任：生產車間、生產部、質量管理部、QC檢驗室主任、檢驗員。

⒋      測依據：

⒌      內容：

5.1儀器：光散射粒子計數器和濾膜顯微鏡。

光散射粒子計數器用於粒徑≥0.5μm；濾膜顯微鏡用於粒徑≥5μm的懸浮粒子的計數。使用光散射粒子計數器時應嚴格按照儀器說明書操作。

5.2         測定標準  

5.3 測試方法

5.3.1 儀器開機,預熱至穩定後,方可按說明書的規定對儀器進行校正。

5.3.2 采樣管口置采樣點采樣時，在確認計數穩定後方可開始連續讀數。

5.3.4 采樣管必須幹淨、嚴禁滲漏。

5.3.5 采樣管的長度應根據儀器的允許長度，除另有規定外，長度不大於1.5m。

5.3.6 計數器采樣口和儀器工作位置應處在同一氣壓和溫度下，以免產生測量誤差。

5.3.7 必須按照儀器的檢定周期，定期對儀器作檢定，以保證測試數據的可靠性。

5.4 測試規則

5.4.1測試條件

5.4.1.1 溫度和濕度：潔淨室的溫度和相對濕度應與其生產及工藝要求相適應，溫度控製在18～26℃，相對濕度控製在45～65%之間為宜。

5.4.1.2 壓差：空氣潔淨度不同的潔淨室（區）之間的壓差應≥5Pa，空氣潔淨度級別要求等高的潔淨室（區）對相鄰的空氣潔淨度級別低的潔淨室（區）一般要求呈相對正壓。

5.4.2 測試狀態：有靜態測試和k8凯发天生赢家一触即发人生測試。

5.4.2.1 靜態測試時室內空調係統已處於正常運行狀態，測試人員不得多於2人。塵埃粒子數必須符合規定。

5.4.2.2 k8凯发天生赢家一触即发人生測試時已處於正常生產狀態，所產生粒子不影響最終產品的作業，可允許超出標準，但當操作完成10分鍾後，粒子水平必須恢複到以潔淨區塵粒最大允許數範圍之內，應定期監控k8凯发天生赢家一触即发人生條件下的潔淨狀況。

5.4.2.3 測試報告中應標明測試時所采用的狀態。

5.4.3 測試時間：對單向流，測試應在淨化空調係統正常運行時間不少於30分鍾後開始。

5.4.4 懸浮粒子計數

5.4.4.1采樣點數目及其布置

5.4.4.1.1 采樣點數目及其布置應根據產品的生產及工藝關鍵操作區設置。

5.4.4.1.2 采樣點布置要求均勻，避免采樣點在某局部區域過於稀疏。

5.4.4.1.3 采樣點一般在工作台麵上0.2m高度的平麵上均勻布置。

5.4.4.2 采樣點的限定：對於任何小或局部空氣淨化區域，采樣點的數目不得少於2個，總采樣次數不得少於5次。每個采樣點采樣次數可以多於1次，但不同采樣點的采樣次數可以不同。

最少采樣點數目

5.4.4.3 采樣量：   

最小采樣量

5.4.4.4 采樣注意事項

5.4.4.4.1 在確認潔淨室(區)送風和壓差達到要求後,方可進行采樣。

5.4.4.4.2 對於單向流，計數器采樣管口朝向應正對氣流方向，對於非單向流，采樣口宜向上。

5.4.4.4.3布置采樣點時，應避開回風口。

5.4.4.4.4 采樣時，測試人員應在采樣口的下風側。

5.4.4.4.5 懸浮粒子濃度的采樣數據應按下述步驟作統計計算。

5.5 結果計算 

                            C1+C2+------+CN

5.5.1 采樣點的平均粒子濃度A= ————————

                                  N

式中：

A--某一采樣點的平均粒子濃度，粒/m3；

Ci--某一采樣點的粒子濃度（i=1，2，---，N），粒/m3；

N--某一采樣點上的采樣次數，次。

                     A1+A2+---+AL

5.5.2 平均值的均值M= ————————

                        L

式中

M——平均值的均值，即潔淨室（區）的平均粒子濃度，粒/m3；

Ai——某一采樣點的平均粒子濃度（i=1,2，---，L）,粒/m3；

L——某一潔淨室（區）內的總采樣點數，個。

5.5.3 標準誤差  SE= 式中

SE——平均值的標準誤差，粒/m3。

5.5.4 置信上限

UCL=M+t×SE

式中：UCL——平均值均值的95%置信上限，粒/m3；

t ——95%置信上限的t分布係數。

95%置信上限的t分布係數

注：當采樣點多於9點時，不需要計算UCL。

5.6 結果評定：判斷懸浮粒子潔淨度級別應依據下述二個條件。

5.6.1 每個采樣點的平均粒子濃度必須低於或等於規定的級別界限，即Ai≤級別界限。

5.6.2 全部采樣點的粒子濃度平均值的均值的95%置信上限必須低於或等於規定的級別界限，即UCL≤級別界限。

5.7 當連續三次樣品測試結果超過警戒指標,或單位樣品的結果特別高時，應著手采取措施。

5.8 用標有頁碼記錄本記錄潔淨室懸浮粒子測試實驗，內容包括：部門、試狀態、測試時間、標準、測試結果、結果計算、結果評定等所有記錄必須有實驗員簽名，並交質量管理科負責人簽字。

5.9 記錄本應保存至最後一次記錄後的三年。