潔淨室靜電測試內容有哪些？

發布日期：2021-12-09 07:38　瀏覽次數：
潔淨室靜電測試內容有哪些？ 潔淨室靜電測試內容有哪些？
靜電測試內容主要包括：
1 泄漏電阻
2 係統接地電阻
3 體積電阻
4 表麵電阻
4 係統電阻



GB50591-2010 《潔淨室施工及驗收規範》     
GB/T25915-2010 《潔淨室及相關受控環境》

ISO 14644_2006  Cleanrooms and associated controlled environments



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