什麽是無塵室淨化工程

什麽是無塵室淨化工程

 

無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清淨室。它是汙染控製的基礎。控製空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔淨度級別。無塵室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。淨化工程是指控製產品 (如矽芯片等) 所接觸大氣的潔淨度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、製造。此環境空間的設計施工過程即可稱為淨化工程。