無塵室測試範圍介紹
凡是和無塵室環境控製有關的因素,都在無塵室認證的範圍之內。在無塵室完工之前,業主、施工單位、與測試單位‧應就以下幾個主題做詳細討論並達成協議,以利測試進行。
在測試前,將以上項目定義清楚,可以使測試順利進行,發現問題時也可以盡快排除,對業主和施工單位都有利。
IEST-0062有一個表說明測試項目,以及適用狀態,具有相當參考價值表列如下。
IEST-RP-CC006.2 Table 1
章節 |
測試項目 |
單一流向型 |
非單一流向型 |
混合型 |
6.1 |
風量與均勻度 |
1,2,3 |
1,2,3 |
1,2,3 |
6.2 |
濾網泄漏 |
1,2 |
1,2 |
1,2 |
6.3 |
潔淨度 |
1,2,3 |
1,2,3 |
1,2,3 |
6.4 |
壓力 |
1,2 |
1,2,3 |
1,2,3 |
6.5 |
平行度 |
1,2 |
N/A |
OPT (1,2 only) |
6.6 |
空間泄漏 |
1,2 |
1,2 |
1,2 |
6.7 |
恢複率 |
N/A |
1,2 |
1,2 |
6.8 |
粒子沉降測試 |
1,2,3 |
1,2,3 |
1,2,3 |
6.9 |
照度 |
1,OPT(2,3) |
1,OPT(2,3) |
1,OPT (2,3) |
6.10 |
噪音 |
1,2,3 |
1,2,3 |
1,2,3 |
6.11-6.13 |
溫濕度 |
1,2,2 |
1,2,3 |
1,2,3 |
6.14 |
振動 |
OPT |
OPT |
OPT |
測試的順序沒有硬性規定,但是仍舊存在某些比較理想的順序
1:測試適用於As-built狀態
2:測試適用於At-rest狀態
3:測試適用於Operational狀態
N/A:代表該測試在該狀態下?不適用?
OPT:代表該測試在該狀態下為?選擇性測試?,可以視製程需求而定
由上表可看出,風量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態,因為不易受幹擾。
風速量測,在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦,因為容易受幹擾。當然這是IEST的建議,我們可以自行決定。
至於測試的項目選擇,NEBB建議:依重要性分成三級,說明如下。
第一級〈Level I〉:第一級測試是所謂的主要測試,與潔淨度直接有關的測試都屬第一級,每個無塵室都應至少應做的測試。
第一級測試項目包括:
A.風速量測
B.風量量測
C.前兩項的均勻度分析
D.濾網泄漏測試
E.潔淨度測試
F.壓力量測
第二級〈Level II〉:第二級測試,雖然也是與潔淨度與氣流有關,但是隻有在特殊情況下才需要進行。
A.氣流平行度量測〈隻適用層流型〉
B.空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉
C.恢複率測試〈依建議隻適用亂流型無塵室〉
D.粒子沉降測試〈近年來已經很少做〉
第三級〈Level III〉:第三級測試就與氣流無關,都是屬於環境因素。
A.照度與其均勻度
B.噪音測試
C.振動測試
D.溫濕度測試
這裏說明NEBB所要求無塵室性能測試的各項測試程序,當然這些程序是NEBB所認定的基本要求,業主可視狀況自行修改。NEBB唯一的要求是,若是修改後的程序比較寬鬆,就不能說是符合NEBB標準。
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