潔淨室係統竣工性能測試及單項係統測試準則

一．FFU泄漏(filter  leakage)測試?

1. 先啟動待測試之FFU,並調整其風量維持在設計範圍內?

2. Particle counter 所附之探測棒須空氣過濾器下方5cm以1.5cm速度沿空氣過濾器出風麵作有規律掃描。

3. 每HEPA 或ULPA之出風表麵均須測試。

4. 若測得其Particle超過其要求Filter之規定或出現相關之不允許Particle則說明該FFU有泄露，破壞之處須以silicon來修補。

二．FFU風速（air  flow  velocity）測試?

1. 可分層流區及非層流區來測試。

2. 須對每片filter 測量及測試不少於5個點求其平均風速值。（其四角和中心區域各測試一處）

3. 測量高度為1.2米或1.5米的假定工作麵。

4. 層流區平均風速須達到0.35m/s+_20%,非層流區平均風無須達到0.45m/s+_20%.

三．FFU氣流平行度(air  flow  parallelism)測試?

1. 本項目僅對全麵層流區實施

2. 依高架地麵或地麵上方1.2米或1.5米處之絲線偏離以計算之偏離角度。

3. 偏離角度不得大於14度。

四．潔淨度（Air  borne  particle  count）測試?

1. 測試前須先確定潔淨室內所有工程均已完成並已經正常運轉。

2. 測量高度為1.2米或1.5米的假定工作麵或由業主與承商共同協商定之。

3. 測試點數不少於潔淨室之麵積的平方根個或由業主與承商共同協商定之。

4. 測量器具為粒子計數器（particle  counter）

五．室內壓力（Room  pressurization）測試?

1. 利用微壓差計由最內房間向外逐一測試。

2. 測試前確保潔淨室之所有門窗等為關閉狀態。

3. 每房間至少測試一點。

4. 測量高度為1.2米或1.5米的假定工作麵或由業主與承商共同協商定之。

六．溫濕度測試?

1. 利用溫濕度計測試測試前確認風速已測試完成且空調係統運轉24小時後開始測試。

2. 每個空調溫控區至少有一個測試點。（原文 ）

3. 測量高度為1.2米或1.5米的假定工作麵或實踐的全部數量及位置可有業主與承商共同協商定之。保證每50平米至少有五個測試點。

七．環境噪音測試?

1. 利用聲級計測試，每40平米及每一獨立房間須測量一點。

2. 須啟動潔淨室所有相關空調設備，但其它設備為停止狀態。

3. 所測量值不得超過設計及業主規定。

5. 測量高度為1.2米或1.5米的假定工作麵或由業主與承商共同協商定之。

八．氣密性(Enclosure  infilteation  leak)測試?

1. 鍾對潔淨室內門窗?所有建築結構可能得縫隙及管道間與所有管線進入潔淨室的接縫。

2. 可采用漏光法或感觀觸摸等方法檢測。

九．照度測試?

1. 采用照度儀測試，所有測試點數，位置，高度可由業主與承商共同協商定之。一般為距地麵1.2米或1.5米的假定工作麵。

2. 日光燈係統至少運轉100小時白彘燈須連續20小時以及潔淨室相關設備係統至少運轉2小時或室內溫度已達到穩定狀態後才能測試。

十．地板及牆板靜電測試?

1. 采用高阻表測計，測試前須用相關溶液擦洗。

2. 地板一般測試”+”?”-“兩極間距至少>=600mm,或按每36平方米一個測試點為原則進行測試。

3. 牆板一般測試”+”?”-“兩極間距至少>=900mm,或按每36平方米一個測試點為原則進行測試。

4. 地板表麵電阻一般為1.0*104~~1.0*106奧姆。

  牆麵電阻一般為1.0*106~~1.0*108奧姆。