潔淨度級別 |
塵粒最大允許數:個/m3(靜態) |
微生物最大允許數cfu (靜態) |
||
≥0.5μm |
≥5μm |
沉降菌/90皿0.5h |
浮遊菌 (m3) |
|
10 000級 100 000級 300 000級 |
350 000 3 500 000 10 500 000 |
2 000 20 000 60 000 |
1.5 3 5 |
50 150 200 |
麵積 (m2) |
潔淨度級別 |
||
10000 |
100000 |
300000 |
|
<10 |
2 |
2 |
2 |
≥10~<20 |
2 |
2 |
2 |
≥20~<40 |
2 |
2 |
2 |
≥40~<100 |
4 |
2 |
2 |
≥100~<200 |
10 |
3 |
3 |
注:對於10000級以上的非單向流潔淨室(區),麵積指的是房間麵積。 |
最小采樣量 L/次 |
潔淨度級別 |
||
10000 |
100000 |
300000 |
|
≥0.5μm |
2.83 |
2.83 |
2.83 |
≥5μm |
8.5 |
8.5 |
8.5 |
4.2.5.7.測試數據的處理及結果判斷使用GL1-01D型塵埃粒子計數器檢測完畢將自動打印出0.5mm和5μm的95%置信度
UCL值,並作出淨化等級的判斷。
潔淨車間檢查頻次表
|
沉降菌 |
塵埃粒子數 |
||||
萬級 |
十萬級 |
三十萬級 |
萬級 |
十萬級 |
三十萬級 |
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測定頻次 |
1次/月 |
1次/季 |
1次/半年 |
1次/月 |
1次/季 |
1次/半年 |
測定地點 |
潔淨室內 |
潔淨室內 |
||||
監測工具 |
直徑9cm的營養瓊脂培養皿 |
塵埃粒子計數器 |